Pelox

网络释义

1.	侧墙场氧化先进的隔离技术0.25? ?多晶封盖侧墙场氧化（PELOX）0.25? (9－5) ?氮化硅复盖隔离场氧化LOCOX（NCL） (9－6) ?鸟 … www.docin.com
2.	鸟嘴可控的多晶硅缓冲氧化 ...复盖隔离场氧化LOCOX（NCL） (9－6) ?鸟嘴可控的多晶硅缓冲氧化（PELOX） (9－7) ?浅槽隔离氧化（STI）(9－8) ?全 … www.docin.com
3.	局部氧化技术多晶硅剥离局部氧化技术（PELOX）可用于 0.25μm 工艺。但是对 0.25μm 以下的工艺，唯一满足要求的工艺技术就是浅槽隔 … wenku.baidu.com