physical sputtering

网络释义

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2.	物理撞溅 Ar 则是针对定性分析用，主要的过程为物理撞溅(Physical sputtering)，因此所测得的信号可以实际地反应出样品表面的化学环 … mse.nthu.edu.tw
3.	物理溅镀 ...及化学溅镀两大类，其原理及应用简述如下： (1)物理溅镀(physical sputtering) 高能的入射质点将其能量或动量移转给固体或 … www.docin.com