off-orientation

半导体缺陷解析及中英文... ... 晶面 crystallographic plane 取向偏离 off-orientation 正交晶向偏离 orthogonal misorientation ...

?晶锭刻意偏移主方向(off-orientation)几度：离子植入。 晶块修整 ?“裁切”锥形的晶块与锥体末端。