out diffusion

后，原本的非晶质氮化钨将全部转变成晶体结构的钨，而原本在内部的氮原子藉由外扩散(out-diffusion)以气体的形式释出。由 …

...子的扩散，因此其方向性是各方均等，甚至有可能从芯片逸出（out-diffusion），这是需要注意的地方。 ( n0 B( N# l9 u: Q

...现三元素(W-C-O)薄膜系统中碳(C)原子於高温退火过程中之热析出(out-diffusion)现象将有助於奈米片状结构之增长。