microactuators

...，同 时整合微感应器(Microsensors)与微致动器(Microactuators) 等机构元件，封装在同一系统内。

? 微促动器(Microactuators)? 微电子机器系统MEMS 和 奈米机电系统 NEMS ? 化学和生物传感器 ? 基於石墨烯的多功能材料 ? …

...基材之电容性微感测器(microsensors)、微控器(microactuators) 及微小机电系统 (MEMS)(Micro-Electro-Mechanical Systems)。