local oxidation of silicon

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2.	硅的选择氧化即“硅的选择氧化”（Local Oxidation of Silicon）- CMOS工艺最常用的隔离技术就是LOCOS（硅的选择氧化）工艺，它以氮化 … baike.baidu.com
3.	硅的定位氧化机械专... ... local overheating 局部过热，局部过烧 local oxidation of silicon 硅的定位氧化 local panel 现场表盘，就地仪表盘 ... www.mapeng.net

4.	矽之局部氧化 Chapter 5 - pdf.io ... ?降低通道效应( Channeling Effect) ?矽之局部氧化( Local oxidation of silicon) 快速加热制程( RTP) ... www.pdfio.com

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