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单词 load lock
释义

load lock

  • 网络装载锁;之功能为何;真空锁
1.
装载锁
装载锁(load lock); 高度调整平板; 腐蚀泵包(corrosive pump package); 增加气路,加热气路; HMDS或加热液体传输系统…
www.instrument.com.cn
2.
之功能为何
ETCH ... GDP 有何作用? Load Lock 之功能为何? Seasoning (陈化处理) ...
kitsdog.bokee.com
3.
真空锁
真空锁Load Lock)组合——即样品预真空室组合,包括真空锁腔室、样品传送装置、涡轮分子泵及进气阀门等。
www.chvacuum.com
4.
腔体
3.2.1晶圆传送腔体模组 (Transfer Modules)须包含晶圆缓冲区腔体(Load Lock )
www.narl.org.tw
5.
装载腔
新一代的HEXAGON以Oerlikon CLUSTERLINE平台为基石,拥有5个制程站及1个装载腔(load lock),因此机身呈六角型,故也 …
www.digitimes.com.tw
6.
准备室
真空准备室Load Lock)当中。本次成长矽锗量子点与
www.ndl.narl.org.tw
7.
腔室
此外,整合冷却功能的装卸系统腔室(Load Lock)设计也有助因应32奈米及以下制程所将面临的材料挑战,防止基板在清洗后发 …
www.mem.com.tw
8.
载盘闭锁
尺寸最小化的载盘闭锁Load Lock)腔加上到前级泵的优化连接,可以实现短的周期时间和优良的真空条件,这对稳定的工艺 …
news.pack.cn

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更新时间:2025/2/27 6:51:06