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单词

load lock

释义

load lock

网络装载锁；之功能为何；真空锁

网络释义

1.	装载锁装载锁(load lock)；高度调整平板；腐蚀泵包(corrosive pump package)；增加气路，加热气路； HMDS或加热液体传输系统… www.instrument.com.cn
2.	之功能为何 ETCH ... GDP 有何作用？ Load Lock 之功能为何? Seasoning (陈化处理) ... kitsdog.bokee.com
3.	真空锁真空锁（Load Lock）组合——即样品预真空室组合，包括真空锁腔室、样品传送装置、涡轮分子泵及进气阀门等。 www.chvacuum.com

4.	腔体 3.2.1晶圆传送腔体模组 (Transfer Modules)须包含晶圆缓冲区腔体(Load Lock ) www.narl.org.tw
5.	装载腔新一代的HEXAGON以Oerlikon CLUSTERLINE平台为基石，拥有5个制程站及1个装载腔(load lock)，因此机身呈六角型，故也 … www.digitimes.com.tw
6.	准备室真空准备室（Load Lock）当中。本次成长矽锗量子点与 www.ndl.narl.org.tw
7.	腔室此外，整合冷却功能的装卸系统腔室(Load Lock)设计也有助因应32奈米及以下制程所将面临的材料挑战，防止基板在清洗后发 … www.mem.com.tw
8.	载盘闭锁尺寸最小化的载盘闭锁（Load Lock）腔加上到前级泵的优化连接，可以实现短的周期时间和优良的真空条件，这对稳定的工艺 … news.pack.cn

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装载锁,之功能为何,真空锁

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更新时间：2026/9/9 7:02:51