ion-beam lithography

网络释义

1.	离子束蚀刻 (4)离子束蚀刻（Ion-Beam lithography）如图（七）所示： 2-4-4 显影曝光后，为使图案显现，必须移去不必要之光阻，负光阻 … elearning.stut.edu.tw
2.	离子束微影 ...时，即挑选了三种技术进行研究，包括EUV、电子束和离子束微影(Ion-Beam Lithography)，但最终我们选择投入EUV，而今 … www.mem.com.tw

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