herie

网络释义

1.	磁场加强式反应性離子蚀刻磁场加强式反应性離子蚀刻(HERIE) 13.56 MHz 受偏压之晶圆吸盘晶圆晶圆 Redrawn from Wet/Dry Etch (College Station, TX… ja.scribd.com
2.	磁场加强式反应性离子蚀刻 ...1996): p. 222. 图16.22 34 磁场加强式反应性离子蚀刻(HERIE) 电磁铁 (四片中之一片) 13.56 MHz 受偏压之晶圆吸盘晶圆晶 … www.docin.com