?刻蚀
37 37 东?南?大?学 射频与光电集成电路研究所 ? 2004/7/30 3.4 刻蚀(Eching) 刻蚀的作用: 制作不同的器件结构,如线条、接触孔、 台式晶体管、凸纹、栅等。 被刻蚀的材料: 半导体,绝缘体,金属等。
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