?电子束蒸发

2.e-beam evaporation电子束蒸发(e-beam evaporation) : 利用聚焦的电子束的能量达到相变的方法. 用来使金属或合金从固态转为气态.

?电子束蒸镀

电子束蒸镀（E-beam Evaporation）利用电子束来加热蒸镀源（source），使蒸镀源蒸发 而沉积在基板上而形成薄膜。

?电子枪蒸镀法

另外,目前用以制备铁电材BZT 薄膜的镀膜术,有电子枪蒸镀法(e-beam evaporation)、溶胶-凝胶法(sol-gelprocess) 、射频磁控溅镀( ronSputtering)、有机属分解法(MOD)以及化学气相积(MOCVD)法[9-14]。