?柔性铰链

近年来，多采用柔性铰链(flexure hinge)作为传动组件，并对工作平台施 加外力以控制其微小位移/角度。

?挠性铰链

...之五轴奈米微动平台，平 台本身是利用模组化的方式将各个挠性体 经由热处理后做紧配合加工，使其成为一 挠性铰链(flexure hinge)机构。五自由度分 别为X、Y、Z 三个线性轴向的自由度以及 对X 轴及Y 轴的旋转角度 x θ 、 y θ 。