?极紫外光

外资机构也认为，台积电在7纳米先进制程已远远领先三星，虽然三星在7纳米决定全数导入极紫外光（EUV）作为曝光显影的关键设备，但因良率始终未见提升，才会导致挖台积电客户无功而返。

?极紫外

...物作为新型多功能荧光探针的作用机理和应用开发；在我国首先开展了基于分子玻璃超高分辨光刻胶的研究，研发出了用于极紫外（EUV）和ArF光刻(193nm)的超高分辨光刻胶，正在进一步开展工业化工艺研发；开发了气凝胶的新型制备工艺和应用。在包括Angew.

?极紫外线

虽然已有提案提出使用更短的曝光波长，诸如EUV（极紫外线），来实现更高分辨率的微细加工技术，并且光刻胶制造商正在开发对应的光刻胶材料技术，但新的微细加工技术的导入由于牵涉到巨额的...

?超紫外线

激光辅助真空锡放电产生的高能量密度微等离子体，它可用于高功率超紫外线（EUV）源为下一代半导体纳米光刻。获得大批量制造（HVM）的的EUV产量为高度重复操作的放电超过20 kHz的需要。