?干蚀刻

20 (二)干蚀刻 『干蚀刻』(dry etching)是以电浆来蚀刻表面原子的过程。在蚀刻过程中并不使用化学 溶液，因此称之为干蚀刻。

[电子]?干法刻蚀

干法刻蚀（dry etching）是一个通称术语，是指以气体为主要媒体的刻蚀技 术晶圆不需要液体化学品或冲洗。晶圆在干燥的状态进出系统。

?干法腐蚀

... 干法染色 dry dyeing 干法充填 dry packing 干法腐蚀 Dry etching ...

?干腐蚀

腐蚀技术可以分为『湿腐蚀』(wet etching)及『干腐蚀』(dry etching)两类。