?腐蚀速率

... etch rate ==> 腐蚀速率 etch ratio ==> 腐蚀速度比 etch removal ==> 腐蚀除去 ...

?蚀刻速率

...位(E)，与氧化剂浓度[Cu+2]成正比，与还塬剂浓度[Cu+1]增多是时，其ORP会降低，当Cu+2增加时，其ORP会升高而蚀刻速率(Etch Rate)也将加快。当ORP升高时，蚀刻曲线也会向上扬升而加快。

?蚀铜速率

... error data file 异常情形 etch rate 蚀铜速率 etchants 蚀刻液 ...

?蚀刻率

评估湿式蚀刻制程表现的指标主要有以下六项：(1) 蚀刻率(Etch rate, ER)：表 示单位时间内蚀刻的速度。