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深紫外线
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?紫外光
准分子雷射微细加工是属于LIGA-like制程中的一种,它是利用脉冲式的深紫外光(Deep UV Light),配合光罩使用,以打断分子键,瞬间热吸收与热膨胀的方式加工,去除工件表面某一特定区域内之表层材料,而达到微细加工的目的.
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