?方向性
的重要步骤之一,干蚀刻是一种「非等向性蚀刻(Anisotropic Etching)技术,该技术具有良好的「方向性(Directional Properties),但是其蚀刻「选择性(或称选择比,Selectivity)则逊于湿蚀刻技术,本案中业界所谓的蚀刻选择性,就是不同物质间蚀刻速率的差异.
z向性能
厚度方向性能
定向辐射特性
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