?沉积气压
...料; 沉积温度; 沉积气压 [gap=807]Keywords:PLD system; GaN material;thin film;substrate temperature;deposition pressure ...
常压化学汽相淀积 ; 常压化学气相沉积法
低压化学汽相淀积 ; 低压化学气相沉积 ; 低压化学气 ; 低压化学气相沉积系统
减压化学汽相淀积
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