?偏置功率

... bias distortion 偏置失真 bias power 偏置功率 bias slope 偏置斜率 ...

?偏压功率

...h etch)与软性着陆蚀刻(soft landing etch)，蚀穿及软性着陆蚀刻是使用不同蚀刻气体、功率(source power)及偏压功率(bias power)、压力、气流速率及时间来执行，阶梯式蚀刻会产生平滑而不具有陡峭台阶(abrupt steps)的多晶硅表面。