?类金刚石
形成在UFM顶上的OC可以是非晶“类金刚石(diamond-like)”碳膜或其它公知保护覆层,例如Si氮化物。 EBL位于SUL顶上。
?涂层
就是类金刚石涂层(Diamond-like ;Carbon)或简称DLC涂层是含有金刚石结构(sp3键)和石墨结构(sp2键)的亚稳非晶态物质,碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。
类金刚石碳 ; 碳膜 ; 类金刚石膜 ; 薄膜
类钻碳 ; 金刚石结构的碳 ; 类金刚石薄膜 ; 涂层
DLC薄膜 ; 类金刚石薄膜 ; 碳膜 ; 由于类金刚石薄膜
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