[统计]?临界尺寸

但我查了下也有个 critical dimensions(临界尺寸),是不是和这句里的同一个意思?

?重要尺寸

... fourth dimension第四度空间;四维空间 critical dimension临界尺寸;重要尺寸 basic dimension基准尺寸 ...

?关键尺寸

在开发关键尺寸(critical dimension，CD)更小、集成度(integration)更高的工艺技术中，微影工艺(photolithography)是重要的关键步骤之一。

?特征尺寸

刻蚀：在逻辑和存储器件中，对特征尺寸（Critical Dimension, CD）和深度控制的要求 越来越高。