?杂质粒子

... 杂质离子 foreign ion 杂质粒子 foreign particle 杂质煤 attrital coal; attritus; slatter ...

?杂质质点

最后，初步测试还显示较少或完全没有人工参与的自动校正过程还可大大降低杂质质点(foreign particle)的产生，并有可能提高产量。下列测算表显示的是典型的200毫米晶圆厂相对于每百分之一产量的年度节省。

?无异物感和颗粒感

即： 1． 无菌 2． 无异物感和颗粒感（foreign particle） 3． 无热源 4． 原料、溶剂及辅料的选择。原料、溶剂及辅料的选择是有一定限制的。