?掺杂的多晶硅扩散
... dopingtype掺杂型 dopos掺杂的多晶硅扩散 dopplereffect多普勒效应 ...
?掺杂多晶硅
文摘： 本报告是掺杂多晶硅(DOPOS)应用研究的一部份,重点介绍在生长DOPOS后的表面形貌和雾模产生原因及消除办法,以及热处理对DOPOS电学特性的影响。
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