?静电吸盘
此次通过给设备配备可调温的静电吸盘（Electrostatic Chuck），解决了上述问题。静电吸盘就是利用静电作用力，将晶圆吸附到晶圆座上，能够在真空腔内连续更换晶圆。
?静电夹头
... 静电价规则：electrostatic valence rule 静电夹头，静电夹盘：electrostatic chuck 静电浮床：electrostatic fluidized bed ...
?静电卡盘
... [=Educational【esc】单词缩写 [=electrostatic chuck] 静电卡盘 [=ESCape]换码 ...
?静电夹盘
... Electroslag welding 电渣熔接 electrostatic chuck 静电夹头，静电夹盘 electrostatic discharge protection 静电放电保护 ...
静电薄片夹头
六相静电吸盘
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