?原子层沉积
原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)作为一种基于表面自限制反应的化学气相沉积技术,具有优异的均匀一致性和亚纳米厚度可控性,可对微纳米颗粒精确控制包覆厚度、...
?原子层沉积技术
...面复合速率(SRV),提高太阳能电池的短路电流和开路电压,进而使光电转换效率提高。原子层沉积技术(Atomic Layer Deposition,ALD)是一项薄膜沉积的新工艺,用它来沉积的氧化铝钝化材料在太阳能电池中得到了应用,并在实验室得到了较高的转化效率。
?原子层沉积法
...的材料沉积,但仍具有相同的沉积厚度,改善阻抗层的一致性和均匀性,就45奈米制程来说,原子层沉积法(Atomic Layer Deposition,ALD)是较为适用的,利用Molecular-Level的控制,可以达到100%的Step Coverage...
原子层沉积系统 ; 沉积系统
原子层沉积技术
或原子层化学气相沉积 ; 也称为原子层化学气相沉积
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