汽相外延 ; 气相磊晶法 ; 相外延 ; 气相外延生长
氢化物气相外延 ; 氢化物气相磊晶法 ; 氢化物化学气相淀积
金属有机气相外延 ; 气相外延 ; 材料金属有机气相外延 ; 相磊晶法
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