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蒸镀；汽相淀积
?汽相淀积
... vaporgrowthapparatus汽相生长装置 vapordeposition汽相淀积 vaporcleaner蒸汽清洗器 ...
?气相沉积法
1．3．2气相沉积法 气相沉积法（VaporDeposition，VD）包括物理气相沉积（PhysicalVapor 4 硕士学位论文 第一章文献综述 Deposition...
物理气相沉积
目前最常用的方法为化学气相沉积
用电子束物理气相沉积
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