?烘烤不足
减弱光刻胶的强度 常见问题:a、烘烤不足(Underbake)。减弱光刻胶的强度(抗刻蚀能力和离 阻挡能力);降低针孔填充能力( );降低针孔填充能力 子注入中的 阻挡能力);降低针孔填...
underbake:
under- +? bake
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