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10万素子以上 (5)超々大规模集积回路(Ultra Large Scale Integration：ULSI)……
?大规模集成
...) 、中规模集成（MSI）到大规模集成（LSI）阶段，乃至进入超大规模集成（VLSI）和甚大规模集成（Ultra Large Scale Integration,ULSI)阶段。
超大规模集成电路
超大规模集成
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