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单词 wafer flatness
释义
wafer flatness
  • 简明释义
  • 晶圆平整度:衡量半导体晶圆表面平整度的指标,对于半导体制程和器件性能具有重要影响。
  • 网络释义
  • 1

    ?薄片平面度

    ... wafer flat 薄片取向面 wafer flatness 薄片平面度 wafer gettering 晶片吸除 ...

  • 2

    ?硅片表面不平度

    硅片表面不平度

短语
  • 双语例句
  • 1
    A novel in-situ non-flatness measurement method of wafer stage mirrors in a step-and scan lithographic tool is presented.
    提出一种新的步进扫描投影光刻机工件台方镜不平度测量方法。
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更新时间:2025/3/25 22:15:57