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单词 step coverage
释义
step coverage
/ step ?k?v?r?d? /
  • 简明释义
  • 步骤覆盖:在软件测试中,指测试用例是否覆盖了被测软件的每个步骤或功能。
  • 网络释义
  • 1

    ?覆盖率

    由于适用于较大的深宽比(aspect ratio)及良好的阶梯覆盖率step coverage),铜薄膜的化学气相沉积研究就受到了广泛的关注,是令人感兴趣的课题之一。 主要参考文献: 1 Chang C.

  • 2

    ?覆盖性

    ...(Silane) & TEOS (Tetraethyl Orthosilicate),但利用TEOS配合LPCVD來进 行沈积之氧化层,因其较佳之阶梯覆盖性 (Step Coverage),将为本制程所采用,但其 用來解離TEOS之温度偏高(650~750℃),可行 之解决方式有二:一为借由PECVD之电浆來将 TEOS解離,另一方...

  • 3

    ?台阶覆盖

    ... 等离子生成技术,在抑制了悬突(Overhang,嵌入铜的孔开口部因晶种层较厚而缩小的现象)的同时,还改善了台阶覆盖(Step Coverage)。从而优化了离子密度与能量的均衡。

短语
  • 双语例句
  • 1
    Methods for high temperature deposition an amorphous carbon film with improved step coverage are provided.
    提供了一种以提高的台阶覆盖率高温沉积非晶碳膜的方法。
  • 2
    The films have advantages of slightly compressive stress, very low pin-hole density and superior step coverage.
    这种薄膜具有很小的压应力,很低的针孔密度,良好的台阶覆盖性等优点。
  • 3
    Therefore, the substrate temperature was the main factor which obviously affected the atoms distribution and step coverage of Al thin films.
    衬底温度决定原子的表面迁移率,衬底温度是影响淀积的铝膜的均匀性和台阶覆盖能力的主要因素。
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更新时间:2025/2/15 7:09:21