?次微米
...pper)等必须进行急速动作的零件,惯性力会 降低,再加上表面平均粗度(Ra)10微米就已是极限,无法达到次微米(Submicrometer)所要求的精度。
亚微米分辨力
亚微米工艺
亚微米结构
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