?磨损

...型MEMS器件还有额外的二个可靠度问题须关注，包括黏附(Stiction)，例如由两个电容极板形成的联结，无法松开；以及磨损(Wear-out)，主要是因长时间重复使用而造成器件特性改变。

?耗尽

... wear-out failure 磨损性破坏,磨损性故障 wear-out 耗尽,磨耗,使疲乏不堪,消磨(时间等),用旧,用完,穿破 wearlessness 耐磨性,抗磨性 ...