...持者(包括Sematech以及IBM、Infineon、NEC、Globalfoundries、Samsung、ST与Toshiba)都面临包括散热不稳定(thermal instability)、阈值电压飘移(threshold voltage shifts),以及闸堆叠重新生长(re-growth in the gate stack)等等问题,这对微缩电氧化层厚度的...
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?热不稳度
... 热高压 thermal high 热不稳度thermal instability 热单位 thermal unit ...