?热流法
...以下3类：第1类是旋涂式玻璃法（Spin on glass，SOG），即把绝缘材料通过旋转涂敷制成层间绝缘膜；第2类是热流法（Thermal flow），它是在形成层间绝缘膜之后可使该膜具有流动性从而使之展平的技术；第3类是研磨技术，它是能把成膜后的凸凹不平之处进行抛光的研...
?热流量
...解析力 附著力 曝光速率, 感光力和曝光光源 制程自由度 针孔 粒子和污染物的等级 阶梯覆盖(Step Coverage) 热流量(Thermal Flow) 29 解析度的性能 ? ?
热流量计 ; 热式流量计
非热式
热式流量传感器
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