?亚分辨率辅助图形

在CPL掩膜上所采用亚分辨率辅助图形SRAF由石英平台上的铬...

?高温环形退火炉

据悉，高温环形退火炉（SRAF）是取向硅钢生产工艺中最重要的环节之一，技术含量高、装备水平高、质量要求高、工序交叉繁杂，施工难度大。

?分辨率辅助图形(Sub Resolution Assist Feature)

SST-AP China 蚀约为180°的弧形。相移层的宽度设计为56nm@1×，并没有在任何节距间加入光学临近校正OPC层。同时还设计了亚分辨率辅助图形（subresolution assist features, SRAF），掩膜图形结构是将一铬层置于石英台面上。在CPL掩膜上所采用亚分辨率辅助图形SRAF由石英平台上的铬

?以及在掩膜上增加亚分辨率辅助图形

...常用的分辨率增强技术包括离轴照明和使用相移掩膜版，以及在掩膜上增加亚分辨率辅助图形（sub-resolution assist feature，SRAF）。 存储器芯片的核心区域是具有高度周期性的相同图形阵列，以固定的间距重复排列。