?溅射效率
... sputtering target 溅射靶 sputtering yield 溅射效率 square law capacitor 平方律可变电容器直线波长式可变电容器 ...
?溅射二次放射系数
... sputtering system 溅镀系统 sputtering yield 溅射二次放射系数 square cutting 方形切割 ...
[物]?溅射产额
...子对金属靶材进行轰击并产生靶材原子时， 每个离子由于轰击而产生的靶材原子的数量的比值， 被称为“溅射产额(Sputtering Yield) ”， 通常是以 S来表示。 根据对公式 1-2 的修正， 我们可以将溅射产额的数值， 以公式 1-3 来表示。
?溅射率
...射原子吸附，则残余的反应气体将撞击靶面而在靶面发生反应形成 化合物，一旦靶材化合物形成后，则将造成溅射率(Sputtering yield)的降低。所以， 在低反应气体压力下有较高的沉积速率。
物 部分溅射产额
溅射产额
相对溅射产额
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