?加工技术
(2)表面MEMS加工技术(Surface Micromachining)是完全利用集成电路 平面加工技术加工MEMS装置,其优点是与集成电路工艺全部兼容,采用表面 加工制造的机械结构一般都是平面结构...
?面微加工
当前硅微机械加工技术可分为表面微加工(Surface Micromachining)与体微加工技术(BulkMicromachining),硅微加工技术的特点是与Ic兼容,易于 集成化。
?面型微加工技术
null面型微加工技术(Surface micromachining)面型微加工技术(Surface micromachining)是比较靠近原本积体电路半导体制程的作法 。 主要是利用蒸镀、溅镀或化学沉积方法,将多层薄膜叠合而成。
表面加工工艺
表面微加工工艺
表面硅微加工
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