?旋涂
以下说明SiOxNy ARCs无机材料所具有比 旋涂 ( spin-on )之有机材料之一些优点︰ * 光学常数值(n及k)，可经由控制沉积参数微调(即可调之ARCs)，以适用一些特定应用及光阻[3]。
?旋转涂布法
目前研发中的低 介电常数材料有非常多种，依沉积方式可分为旋转涂布法(spin-on)及化学气相 沉积(CVD)两大类5，而在此我们从蚀刻的角度来将其分为无机类与有机类两大 种，如表一所示。
?旋装滤
... 旋装滤 Spin-on 浸入式 Immersed 液压油 Hydraulic ...
涂布的砷溶液
旋转涂胶
旋涂玻璃 ; 旋制氧化硅 ; 形成一旋涂式玻璃层 ; 一旋涂式玻璃层
旋压；旋涂
rotary extrusion
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