您要找的是不是:
n. 硅石;石英玻璃
n. 买卖圣职罪;买卖圣职
?注氧隔离
目前,制备SOI材料的主流技术之一为注氧隔离(SIMOX),即通过离子注入工艺,向硅片中注氧,然后退火,以形成SOI材料结构中所需的绝缘埋层,即SiO2埋层。
注氧键合技术
局域注氧技术
SIMOX薄膜
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