硅微加工
以上为机器翻译结果,快速获取精准的人工翻译结果,建议选择有道人工翻译
?微加工技术
简言之,CMOS MEMS是在标准的CMOS制程外,再辅以MEMS特有之体型(bulk)或面型(surface)矽微加工技术 (silicon micromachining),即可在矽晶圆上制作出微米等级悬浮结构,使得这些微结构可以产生机械运动或形变等行为。
?微加工
(1)硅微加工 [ ] 19 硅微加工(Silicon Micromachining)源自集成电路制造技术,是目前微细加 工的主要制造技术。
?微机械加工
关键词 : 陀螺 ; 微机械加工 ; 噪声 ; 滑膜阻尼 [gap=6265]Key words : gyroscope ; silicon micromachining ; noise ; slide2film damping
体微机械加工
硅混合微加工
硅微机械谐振
英汉双解词典包含3185865条英汉词条,基本涵盖了全部常用单词的翻译及用法,是英语学习的有利工具。