[无化]?硅化物
...对接触电阻的要求对于22nm及以下尺寸MOS器件,实际上非本征参数(源漏接触电阻和串联电阻)成为了主导因素硅化物(Silicide)是降低源、漏、栅串联电阻,实现可靠欧姆接触的理想选择 Review Silicides are intermetallic compounds that usually form in a...
?金属硅化物
在表面溅射一层金属层(比如 ti),在与硅 接触的表面反应形成金属硅化物(silicide), 在外表面形成 tin。 如果栅、 源、 漏极都有 silicide 俗称为 salicide,如果只形成在多晶硅上称为 polycide。
?称为硅化物
159 SILICIDE 硅化物 大凡称为硅化物(Silicide),指耐火金属(Refrworriesory Metnos)之硅化物,如钛(Ti)、钨(W)、钼(Mo)等与元素硅(Si)联结而成之化合物(TiSi2、Wsi...
硅化镁
硅化铜
硅化钙 ; 二硅化钙 ; 硅钙合金
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