[化学]?特种气体
一般把气体分为大宗气体(Bulk Gas)和特种气体(Special Gas)两种。大宗气体一般是指集中供应且用量较大的气体,涵盖制程用气如PO2,PAr,PH2,PHe ,以及非制程用气如CDA,IA,GN2等。
?程气体管
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特殊排气口
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特气供应系统 ; 特气供气系统
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