自对准技术
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?自对准技术
自对准技术(Self-aligned technology): 这是制作MOS大规模集成电路的一种重要工艺技术。采用该技术即可减小其中MOSFET的寄生电容,大大提高工作频率和速度。
电子 硅栅自对准工艺
Ni微马达
扩散自对准工艺
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