?侧壁掩蔽
... sidewall angle 侧壁腐蚀角 sidewall masking 侧壁掩蔽 sidewall oxide 侧壁氧化层 ...
?利用侧壁掩膜
1.3.3 利用侧壁掩膜(sidewall masking)技术 15-16
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