?选择性外延生长

定义 中文名称： 选择性外延生长 英文名称： selective epitaxy growth 定义： 在衬底上限定的区域内进行的外延生长。 应用学科： 材料科学技术（一级学科）；半导体材料（二级学科）；半导体材料制备（二级学科） 以上内容由全国科