?硅化物

在栅极和源漏极的pn结的扩散方面,采用多晶金属硅化物（Polycide）和金属硅化物（Silicide）来制备,以减小寄生电阻。金属硅化物一般使用硅化钨和硅化钛,但是现在已经被硅化钴所取代。

?多硅结构

... polyarthritis 多关节炎 polycide 多硅结构 polyclimax 多顶极[群落] ...

?金属硅化物

在栅极和源漏极的pn结的扩散方面,采用多晶金属硅化物（Polycide）和金属硅化物（Silicide）来制备,以减小寄生电阻。金属硅化物一般使用硅化钨和硅化钛,但是现在已经被硅化钴所取代。