?反应电弧离子镀(Reactive Are Ion Plating)

（凝聚态物理专业优秀论文）燃料电池金属双极板电弧离子镀薄膜改性研究 - docin.com豆丁网 镀靶材离化后 通入反应气体形成真空等离子体，使之在沉积室空间内发生反应，并生成薄膜沉积于基 体表面，所以这种方法有时也被称作反应电弧离子镀（ReactiveArcIon Plating，RAIP）。 在气体弧光放电阶段，作为冷阴极的金属表面将形成大量的阴极放电斑点。在这些 放电斑点上，电流的密度

?这种方法也被称作反应电弧离子镀

...使之在沉积室空间内发生反应，并生成薄膜沉积于基体表面，所以 这种方法也被称作反应电弧离子镀（ReactiveArcIon Plating，RAIP）。 阴极靶面上的真空电弧斑点是电子、金属离子、中性原子和熔化液滴的发射源。