?切割道
(6) 去除上述切割道(scribe line) 和金属板部分的牺牲层PR 等。
?划片槽
(2)划片槽( Scribe Line):在一个晶圆上,通常有几百个至数千个芯片连在一起,芯片与芯片之 间留有80μm至150μm的间隙,是为划片留下的空隙,此间隙称为划...
划线图案形成
划片线或锯线
划片槽
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