?反应离子刻蚀
反应离子刻蚀(reactive ion etching,RIE)是利 用一定压强下刻蚀气体在高频电场的作用下,使气 体辉光放电产生分子激励和活性基,对刻蚀物离子 轰...
?反应离子腐蚀
... reactive gas 反应气体;活性气体 reactive ion etching (RIE) 反应离子腐蚀 reactive load 电抗负载 ...
?反应性离子蚀刻
第二个步骤,我们利用非等向性蚀刻, 例如:反应性离子蚀刻(Reactive ion etching,RIE),去移除被压印之区域之剩馀光阻。
深层离子蚀刻技术 ; 深反应离子刻蚀 ; 离子蚀刻技术 ; 利用深反应离子蚀刻
反应离子刻蚀系统
三极型反应性离子蚀刻系统 ; 三硝基苯
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